Stäubli Electrical Connectors AG

Tillverkare
Schweiz
Website
Produktförfrågan
Telefon

DIN EN ISO 9001

Tillverkare
Schweiz
Website
Produktförfrågan
Telefon

DIN EN ISO 9001

Renrumsrobotar för halvledarteknik från Stäubli Electrical Connectors AG

Våra lösningar med renrumsrobotar kombinerar precision, hastighet och renhet

När det gäller precision och hastighet ikombination med minskad partikelförorening ställer elektronik- och halvledartillverkning höga krav på automatisering. Stäublis renrumsrobotar gör det möjligt att implementera mycket effektiva lösningar. Våra robotar kan hantera kiselskivor, FOUPs/kassetter samt fotomasker och paneler med exceptionellt hög precision och hastighet och med lågvibrerande rörelser genom hela värdekedjan för halvledartillverkning.

Speciellt utvecklade för halvledarindustrin

De specialutvecklade sexaxliga Supercleanroom-robotarna (SCR) är konstruerade för de stränga kraven i renrumsmiljöer. De uppfyller standarderna ISO 14644-1 klass 2/3 eller FED209E Subclass 1. Maskinerna har en helt inkapslad arm av polyuretan med en speciell beläggning och kännetecknas av en imponerande manövrerbarhet i trånga utrymmen. Stäublis SCR-robotar erbjuder mer flexibilitet, högre nyttolast och längre räckvidd jämfört med andra robotar för tillverkning av wafers. De uppfyller därmed alla krav för hantering av wafers, fotomasker och kassetter. Tack vare robotarnas lilla fotavtryck kan värdefullt installationsutrymme sparas i specialmaskinerna.