Hastighet, upplösning, 2D eller 3D - beroende på tillämpning har tillverkarna olika prioriteringar när de inspekterar halvledarprodukter. Comet Yxlon erbjuder en mängd olika röntgen- och CT-inspektionssystem som är skräddarsydda för specifika inspektionsuppgifter.
2D-radioskopi
- Snabb bildgenerering, perfekt för inspektioner under processens gång
- Huvudsaklig tillämpning: traditionella förpackningar
- Inspektion av enkla trådbondningar, vior och lödstötar
- Finns med Cheetah och Cougar - bästa bilden på kortast möjliga tid med upplösning på submikrometer
Laminografi med dator (CL)
- Bestämning av komponenters rumsliga egenskaper samt defekters position och storlek
- Huvudsaklig tillämpning: Avancerade förpackningar
- Stickprovsinspektion av flerskiktsförpackningar och integrerade enheter
- Tillgänglig för Cheetah och Cougar med vertikal strålgång och högsta upplösning samt för FF20 CT- och FF35 CT-systemen med horisontell strålgång
3D-datortomografi (CT)
- 3D-mätningar för att bestämma rumsliga egenskaper, defektposition och dimensioner
- Huvudsaklig tillämpning: detaljerad defektanalys
- Tillgänglig med FF20 CT- och FF35 CT-systemen med intuitiv användning tack vare användargränssnittet Geminy och som tillägg med Cheetah och Cougar
- Mätteknik för datortomografi