Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
01.10.2025 10:40
AURION erbjuder flerkammarsystem med substrathantering under vakuum anpassade efter dina behov. Tillgängliga konfigurationer inkluderar lastlåsningskammare, överföringskammare och processmoduler för sputter- och RIE-processer.
AURION erbjuder inline-system (pass-by) med substrattransport under vakuum anpassade efter dina behov. Tillgängliga konfigurationer inkluderar lastlåsningskammare, förbehandlingskammare och sputterkammare. Vertikala och horisontella layouter är tillgängliga.
Kategori
Erbjudanden
Stat
Tyskland